О товаре

Описание

Магнетрон с перемещающейся зоной распыления, что позволяет значительно увеличить коэффициент использования мишени до 85-90%.

Руководство по использованию: В данном магнетроне для улучшения равномерности применено вращение магнитной системы по сложной траектории, что, в свою очередь, перемещает плазму горения разряда по поверхности мишени. Данное техническое решение позволяет улучшить равномерность напыления и достигает 1% и менее.
Более того, возможно нанесение плёнки в статичном положении, когда подложка постоянно находится в потоке пара распыляемого металла, а вращается зона эрозии мишени. Этим достигается равномерность покрытия и чистота наносимого слоя. Напылённая плёнка получается более плотной, так как отсутствует движение подложки по объёму вакуумной камеры.

от 475 000 ₽

Где купить:

Условия доставки и возврата соответствуют условиям сайта, через который вы оформляете заказ.

ATI

Руководство по использованию: В данном магнетроне для улучшения равномерности применено вращение магнитной системы по сложной траектории, что, в свою очередь, перемещает плазму горения разряда по поверхности мишени. Данное техническое решение позволяет улучшить равномерность напыления и достигает 1% и менее.
Более того, возможно нанесение плёнки в статичном положении, когда подложка постоянно находится в потоке пара распыляемого металла, а вращается зона эрозии мишени. Этим достигается равномерность покрытия и чистота наносимого слоя. Напылённая плёнка получается более плотной, так как отсутствует движение подложки по объёму вакуумной камеры.